Đầu phun rửa siêu âm Nozzle type cleaner “PULSE JET” Line type W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580

Tổng quan

  • Nhỏ hơn và nhẹ hơn so với mô hình thông thường
  • Áp dụng áp suất siêu âm lên dòng nước từ vòi phun tạo ra gia tốc hạt trong nước và chuyển động của hạt nước loại bỏ ô nhiễm submicron trên vật kính.
  • Nguồn cung cấp nước DI tươi tránh tái nhiễm bẩn bên trong các phương tiện làm sạch.
  • Nước làm sạch được cung cấp ở dạng một dòng, vì vậy vật liệu rộng như kính LCD có thể được làm sạch một cách hiệu quả.
  • Siêu âm tần số cao (megasonic) có hiệu quả đối với ô nhiễm hạt mịn.
  • Điều khiển công suất đầu ra có thể điều chỉnh công suất và phù hợp với các đối tượng tinh vi như đầu từ tính.

Cách sử dụng

  • Làm sạch sau khi đánh bóng gương hoặc trước khi lắng đọng hơi của tấm GaAs
  • Vệ sinh kính LCD, ổ cứng HDD hoặc tấm lót Si
  • Làm sạch cho quá trình đăng CMP
    Mã: 1202-20200 Danh mục: